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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]电子级六氯乙硅烷萃取提纯的方法及萃取精馏系统-CN201810182085.8有效
发明人：李金金 -专利权人：李金金
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了电子级六氯乙硅烷萃取提纯的方法及萃取精馏系统，所述提纯获取电子级六氯乙硅烷包括3N、4N、5N级，通过低密度萃取剂A和高密度萃取剂B进行萃取以及精馏提纯，具体经过脱去六氯乙硅烷中低沸点杂质、脱去六氯乙硅烷中低密度杂质、脱去六氯乙硅烷中萃取剂A杂质、脱去六氯乙硅烷中高沸点杂质、脱去六氯乙硅烷中高密度杂质、脱去六氯乙硅烷中萃取剂B杂质、产出电子级六氯乙硅烷步骤，并对萃取剂进行精馏回收获取萃取剂A和萃取剂B；与常规精馏吸附过程相比，本发明的萃取精馏方法提纯能耗小，提纯成本大约仅为传统精馏方法成本的12%～25%，消耗相同能耗生产出的产品质量品级高，提纯过程中损失更小，提纯六氯乙硅烷产品收率更高
电子级六氯乙硅烷萃取提纯方法精馏系统

[发明专利]电子级六氯乙硅烷及其制备方法和应用-CN202211313645.1有效
发明人：孙江桥;吴鹏;张正阳;马一雷;徐玲锋;吴锋;田新;蒋文武 -专利权人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子级六氯乙硅烷及其制备方法和应用，该制备电子级六氯乙硅烷的方法包括：(1)对电子级多晶硅生产系统的尾气进行分离，以便得到氢气和四氯化硅，对电子级多晶硅生产系统中氢化后的混合气体进行精馏，以便得到三氯氢硅；(2)将四氯化硅、氢气、三氯氢硅和硅混合，反应，以便得到六氯乙硅烷混合气；(3)对六氯乙硅烷混合气进行分离，以便得到电子级六氯乙硅烷。由此，显著提高了六氯乙硅烷的纯度，显著提高了电子级多晶硅生产系统中尾气的利用率，极大降低了生产操作成本。
电子级六氯乙硅烷及其制备方法应用

[发明专利]生产六氯乙硅烷的方法-CN01803007.6有效
发明人：桐井精一;生川满敏;竹末久幸 -专利权人：三菱综合材料多晶硅股份有限公司
申请日： 2001-07-26 - 公布日： 2003-01-22 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：将从用氯硅烷和氢气生产多晶硅的炉子中排出的废气冷凝以分离出氢气。将所得冷凝物蒸馏以分离出未反应的氯硅烷和副产物四氯化硅，然后进一步蒸馏以回收六氯乙硅烷。四氯乙硅烷可以与六氯乙硅烷一起回收。回收的六氯乙硅烷和四氯乙硅烷的纯度比用金属硅生产的常规产品的纯度高得多。
生产六氯乙硅烷方法

[发明专利]一种六氯乙硅烷提纯装置及方法-CN202011490070.1有效
发明人：张宝顺;宗冰;陈海宝;刘建华;王体虎 -专利权人：亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种六氯乙硅烷提纯装置及方法，属于六氯乙硅烷提纯技术领域，装置包括依次连通的原料罐、反应器和冷却器；所述原料罐上设有原料进口，且原料罐内部设有加热器；反应器内设有电极，且反应器具有与氯气通入管路适配的气体接口本发明通过电极形成电磁场激励氯气，得到同时含有电子、活性氯自由基、自由分子及辐射光的等离子体，在自由电子、辐射光和活性氯自由基的诱导下，加热后形成的气相五氯乙硅烷先脱去一个氢基，然后再结合一个氯基，进而转变为六氯乙硅烷，在在提高六氯乙硅烷的纯度的同时，提高了六氯乙硅烷的产量。
一种六氯乙硅烷提纯装置方法

[发明专利]一种六氯乙硅烷及其制备方法-CN202310967967.6在审
发明人：胡红亮;卢迪锋;汪海燕;朱思坤;李建恒 -专利权人：铜陵安德科铭电子材料科技有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种六氯乙硅烷的制备方法，具体包括以下步骤：步骤一、上料；步骤二、搅拌；步骤三、出料；步骤四、过滤纯化；步骤五、换热；步骤六、清理；本发明涉及六氯乙硅烷制备技术领域。该六氯乙硅烷的制备方法，利用驱动组件驱动搅拌组件对六氯乙硅烷制备原料进行搅拌，无需对原料进行预混匀处理，驱动组件还可以驱动反应釜进行转动，提高原料混匀效果的同时，还可以保证加热组件对反应釜的均匀加热，为六氯乙硅烷的制备提供便捷保障，在升降组件和水循环组件的配合下，不仅方便盖板的升降，为六氯乙硅烷的制备提供便捷保证的同时，还可以实现对反应釜和加热组件热量的有效收集，同时为反应釜的清理提供了便捷保障。
一种六氯乙硅烷及其制备方法

[发明专利]一种六氯乙硅烷的纯化方法-CN201810130665.2有效
发明人：贺辉龙;毛索源;张广第;杨建成;李军 -专利权人：浙江博瑞电子科技有限公司
申请日： 2018-02-09 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明提供了一种六氯乙硅烷的纯化方法，包括如下步骤：将工业级六氯乙硅烷，通入装有吸附树脂的交换柱中，在温度50‑65℃，流速0.2‑2BV/h的条件下进行吸附提纯，产物即为纯化后的六氯乙硅烷产品。
一种六氯乙硅烷纯化方法

[发明专利]六氯乙硅烷的回收方法及用于该方法的设备-CN200980158582.3有效
发明人：松尾靖史;竹村晃一;杉村真 -专利权人：电气化学工业株式会社
申请日： 2009-03-30 - 公布日： 2012-02-29 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及由四氯硅烷和氢气生产三氯硅烷时作为副产物生成的六氯乙硅烷的回收方法，其具有如下工序：在700～1400℃范围的温度下，使含有气化的四氯硅烷和氢气的原料气体发生反应从而得到反应生成气体的工序；将反应生成气体冷却至30～60℃的温度范围从而得到含有六氯乙硅烷的冷凝液的工序；以及从冷凝液中浓缩回收含有六氯乙硅烷的高沸点物的工序。
六氯乙硅烷回收方法用于设备

[发明专利]生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和六氯乙硅烷的系统-CN202011623031.4有效
发明人：陶刚义 -专利权人：内蒙古兴洋科技股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C01B33/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和六氯乙硅烷的系统，包括：原料合成系统、硅烷合成系统、一氯硅烷合成系统、二氯硅烷合成系统和六氯乙硅烷合成系统；其中，原料合成系统包括氢化系统、歧化塔一、歧化塔二、冷凝器一和冷凝器二；冷凝器一固定在歧化塔一的顶端，并与歧化塔一连通；冷凝器二固定在歧化塔二的顶端，并与歧化塔二连通；氢化系统的入口与六氯乙硅烷合成系统连通；顶端出口与歧化塔一的入口连通；歧化塔一的顶端出口与歧化塔二的入口连通，底端出口与六氯乙硅烷合成系统的入口连通；歧化塔二的底端出口与歧化塔一的入口连通，顶端出口与硅烷合成系统的入口连通。
生产硅烷六氯乙系统

[发明专利]六氯乙硅烷机台及其保养维护方法-CN201410141318.1在审
发明人：陈志平;俞玮;万家俊 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-04-08 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种六氯乙硅烷机台，包括：工艺机台，为六氯乙硅烷之工艺制程腔室；泵抽单元，通过具有主阀的管路与所述工艺机台连接；冷阱装置，进一步包括金属隔离网以及设置在金属隔离网外围的冷却装置，且冷阱装置设置在管路之异于泵抽单元的一端与主阀之间本发明通过在主阀和管路之间设置冷阱装置，使得工艺机台之副产物溅落在活动设置的金属隔离网上，而不会在管路内聚集，在对六氯乙硅烷机台进行清理时不仅操作简单、方便，而且提高保养效率，提高了六氯乙硅烷机台的在线生产时间
六氯乙硅烷机台及其保养维护方法

[发明专利]从六氯乙硅烷中除去钛的方法-CN200980139298.1无效
发明人：沃尔夫冈·尼斯;汉斯·埃布尔梅尔 -专利权人：瓦克化学股份公司
申请日： 2009-10-08 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及一种从六氯乙硅烷中除去钛化合物的方法，其中六氯乙硅烷用包含结构单元≡C-S-或≡C-O-的有机化合物(V)处理。
六氯乙硅烷除去方法

[发明专利]一种制备高纯度六氯乙硅烷的工艺-CN202010438643.X有效
发明人：黄娣;张小玲;龚瑞;张国光;代笑天 -专利权人：湖北晶星科技股份有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯六氯乙硅烷的制备领域，尤其是一种制备高纯度六氯乙硅烷的工艺，本发明采用山梨醇代替螯和树脂进行金属杂质的吸附，在提纯过程中加入氮气伴送成为惰性气体保护精馏，通入氮气的作用主要是降低蒸馏温度，加强塔釜内液体的搅拌防止釜内液体局部过热，从而避免六氯乙硅烷受热变质。
一种制备纯度六氯乙硅烷工艺

[发明专利]一种分离提纯六氯乙硅烷的系统和方法-CN202011619534.4有效
发明人：陶刚义 -专利权人：内蒙古兴洋科技股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种分离提纯六氯乙硅烷的系统，包括：汽化器、精馏塔一、轻组分储罐、精馏塔二、六氯乙硅烷储罐、冷凝器一和冷凝器二；其中，汽化器的气体出口与精馏塔一的入口连通；精馏塔一的顶端出口与六氯乙硅烷储罐的入口连通；精馏塔一的底端出口与精馏塔二的入口连通；精馏塔二的顶端出口与六氯乙硅烷储罐的入口连通；精馏塔二的底端出口与汽化器的液体入口连通；冷凝器一固定在精馏塔一顶端并与之连通；冷凝器二固定在精馏塔二顶端并与之连通
一种分离提纯六氯乙硅烷系统方法

[发明专利]制备高纯度六氯乙硅烷的方法-CN200880108573.9有效
发明人： W·克尼斯;K·伯格尔沙森;H·艾博迈尔 -专利权人：瓦克化学股份公司
申请日： 2008-10-07 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及一种通过蒸馏包含六氯乙硅烷的混合物制备六氯乙硅烷的方法，其特征在于，在蒸馏的过程中水的存在量不超过10ppbw(以重量计十亿分之一份)。
制备纯度六氯乙硅烷方法

[发明专利]一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二硅烷的分离方法-CN202211413444.9在审
发明人：张建树;赵文龙;张金利;郭瑞丽;彭文才 -专利权人：石河子大学
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明提供一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二硅烷的分离方法，包括以下步骤：(1)将多晶硅副产低聚氯硅烷进行裂解反应，所述裂解反应是通入HCl气体与多晶硅副产低聚氯硅烷进行反应，反应温度为90℃‑120℃，将产生的气体冷凝，并收集裂解反应的剩余液体；所述多晶硅副产低聚氯硅烷包括六氯乙硅烷、六氯乙硅氧烷、五氯乙硅烷、四氯硅烷和三氯氢硅；(2)将裂解反应的剩余液体进行低温结晶，过滤分离出晶体。
一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二分离方法

[发明专利]连续式氯硅烷残液回收处理装置及方法-CN201310059359.1无效
发明人：黄国强;杨劲;王国锋;陈锦溢 -专利权人：天津大学
申请日： 2013-02-26 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及一种连续式氯硅烷残液回收处理装置及方法，特别是针对回收具有极高价值的六氯乙硅烷（又称六氯二硅烷、全氯乙硅烷）的方法及其装置。本工艺主要包括过滤器、初馏塔、六氯二硅烷脱轻塔、六氯二硅烷脱重塔、四氯化硅脱氢塔、四氯化硅脱重塔。本发明可以有效的除去与四氯化硅难分离的有机氯硅烷、与六氯二硅烷难分离四氯化钛，本处理工艺可以回收得到纯度99.7%的六氯二硅烷与纯度。
连续硅烷回收处理装置方法

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